二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #293637223 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300光电阻设备是一种强大可靠的光刻工具，用于生产高密度集成电路（IC）。该系统可用于生产具有亚微米结构的IC。它提供了业界最高的工艺精度和产量。机组操作的核心是一个UV激光器，其输出被分成三束。第一个光束用于将IC的空中图像暴露在抗蚀剂上。第二束用可变聚焦透镜聚焦影像。最后，用第三束光束控制平台的高度和加热功能。机器内使用的先进光学器件高度精确，可以进行精确的光刻处理。这包括能够以高分辨率曝光先进的致密光刻胶层，低至0.5 μ m范围。此外，MICROTEC ACS 300能够暴露各种不同的光刻协议，包括基于时间、分配和基于自旋的工艺。许多功能有助于工具的出色性能。它具有较大的PCB尺寸（400 mm x 350 mm）,允许利用印刷电路板的裸露图样进行图样化。此外，Z-Axis在资产上的精确定位允许对曝光过程进行精确的垂直控制。KARL SUSS ACS 300型号配备了强大的微处理器驱动的图像引擎，允许存储器存储和召回参数，从而简化了光刻剂的工艺。此外,用户还可以设置网格模式,以便轻松编辑图像,从而最大程度地减少在阵列上花费的时间。最后，这种设备极其可靠，MTBF（平均故障间隔时间）超过82,000个工作小时。这样可以确保用户信任并依赖系统来满足其光刻需求。总体而言，ACS 300光阻装置是生产具有亚微米特性的IC的绝佳工具。它具有出色的光学性能、高工艺精度、可靠的性能以及强大的图像引擎。