二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9081962 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是一种光刻设备，设计用于使用光刻技术对基板进行精确、一致的图样绘制。特别是该系统专门研究高端晶圆阵列。MICROTEC ACS 300单元包括一个OptiCAL曝光头，这是一台高度先进的机器，可以曝光200毫米以下的基板和8英寸以下的半导体晶片。此曝光头具有SUSS Greentec还原光学元件,可确保产生高分辨率图像。此外，它还配备了扫描镜头和激光自动对焦装置，以确保成像基板时的精度和精确度。KARL SUSS ACS 300还配有AutoEdge对齐器，以便将光线图桉正确对齐到基板上。这种对齐器有助于确保光线适当地聚焦在所需的区域上。它通过扫描电子显微镜（SEM）实现了这一点，该显微镜用于检测底物的微小错位。该工具可用于接触和投影光刻。这类光刻利用激光等光源，照射到光敏材料上。这将显示基板的区域以创建阵列。这种相同的工艺可用于蚀刻、石版画和图样基板。最后,ACS 300光刻胶资产具有独特的自动清洗模式.该设备有助于减少人为错误，保持镜头质量，并使系统保持最佳状态运行。这是通过每隔几个小时用特殊液体原子清洗和涂覆镜片来完成的。这样可以保持设备的分辨率和准确性,同时防止磨损造成的任何损坏。总之，KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是一种高度先进的光刻机，提供精确一致的基板图样。它的特点还允许接触和投影光刻。其自动清洗工具有助于保持资产的准确性和分辨率。