二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300+ #9144010 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300+光刻设备是用于光刻的精密机器。它配备了最先进的微型步进电机，允许光刻胶的精确和可重复曝光。该系统采用人工操作或计算机控制操作，非常适合生产和研究应用。MICROTEC ACS 300+光致抗蚀剂单元有一个大的、可调的工作表面，可以处理尺寸可达200 x 400 mm的基板。机器配备了人性化的液晶显示屏，其中包括所有有关过程的相关信息，如光束大小、时间和抗蚀剂设置。光束直径从6 µm可调至650 µm，并且有一个变焦端口允许创建多种不同的抵抗模式。光束尺寸可以快速、精确地调整以实现精确对准。KARL SUSS ACS 300+利用Scott Hardman的专利彩玻璃反射镜技术。这样可以在基板上均匀暴露,且失真最小。该工具配有UV-A反射器和可调节的阴影鹰准直仪。这使得资产在曝光过程中极其准确可靠。该型号还配备了一个过程中控制（IPC）照明，可以在形成主图样后进行曝光校正。ACS 300+设备可以使用广泛的光掩模、光电池和抗性材料。该系统设计用于与AP型HSQ型（六甲基二硅氮烷）、AR型（烯丙氧基间苯二酚）、CP型（氰基丙烯酸酯）光致抗蚀剂等标准低粘度抗蚀剂配合使用。它还与PMMA-型（聚甲基丙烯酸甲酯）、AZ型（aza-bisphenol）、MX型（mercaptoxylene）光致抗蚀剂等多种高粘度光致抗蚀剂兼容。总体而言，KARL SUSS/MICROTEC ACS 300+光刻机是一种用途广泛、应用广泛的机器。它可以很容易的处理多种光掩模和抵抗材料，使得它适合生产和研究。其出色的多功能性、用户友好的操作以及高精度的能力使其成为任何光刻项目的绝佳选择。