二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9211226 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是专为商业光刻应用而设计的全自动光刻设备。该系统具有一个完全集成的过程模块，它利用了三大技术：光学、电子和化学。MICROTEC ACS 300的光学模块使用精密光学器件来设定精确的曝光水平和光掩模的对准。该模块具有业界最短的波长，还能够为高精度柔性光刻图样提供可调激光功率和/或可变孔径设置。电子模块负责阵列的放置和光掩模的监控.它具有两个独立的压电驱动系统,以尽可能最精确的模式放置。此模块对于对生产超高分辨率设备感兴趣的KARL SUSS ACS 300用户特别有利。化学模块由一个带有分级剂量室的化学罐组成，其中添加了光致抗蚀剂和正在发展的化学物质。模块还包括一个专有的紫外线照射单元，防止空气中蛋白质的形成，消除图像失真和亚微米分辨率。ACS 300是一款高度先进的光刻机，非常适合所有类型的光刻应用。其完全集成的工艺模块提供精确的光学工具，用于精确的模式放置，其化学模块具有防止空气中蛋白质形成的紫外线辐射工具。KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是需要使用精确光刻技术的超高分辨率设备的用户的完美解决方桉。