二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9213835 待售

KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是一种光阻设备，设计用来蚀刻半导体材料表面错综复杂的图桉。它是一种"直接曝光"系统，意味着要蚀刻的图样从外部直接暴露在基板上。广泛应用于微芯片组装和电路研究。该装置由光学显微镜、真空供应单元和步进电机组成。光学显微镜用于将图像投射到目标基板上，步进电机控制蚀刻深度和精度。真空供应机对基板保持恒定压力，确保蚀刻参数保持尽可能精确。MICROTEC ACS 300能够使用其特别设计的投影镜头将基板製图到sub-90nm。它还提供了一种自动对齐工具，可确保在基板上进行图样定位的准确性，并允许用户远程调整位置和聚焦。曝光资产提供了广泛的基材和曝光时间，可用于正负光敏。此外，KARL SUSS ACS 300最多可同时处理四个基板，允许增加吞吐量。该模型产生出色的图像定义,最大分辨率为1 nm。它还具有防止接触危险化学品的优良安全特性。该设备包括一个自动关闭功能，当化学物质水平降至一定水平以下时停止生产，以及一个气体监测功能，确保工作期间的安全。简而言之，ACS 300是一种可靠、准确、高效的光刻胶系统，旨在为半导体材料中错综复杂的图样制图。它提供了广泛的曝光时间和基板功能,以及自动对齐和出色的安全功能。这使得它成为微芯片组装、研究和其他类似项目的绝佳选择。