二手 KARL SUSS / MICROTEC ACS 300 #9384559 待售
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KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是一种用于微电子元件精密制造的光刻设备。它利用多次曝光和对齐功能来提供可靠的小型特征模式传输。该系统由微型微处理器控制的XY基板级、精密X-Y-Z级和自动曝光/开发单元三部分组成。基板级提供了灵活的移动增量和速度设置,以实现精确的特征放置,而经济型X-Y-Z级允许关键对准所需的可靠光学穿透。MICROTEC ACS 300为30 µm或更高的小型结构设计,采用集成数字视觉摄像机,具有亚微米对准功能。KARL SUSS ACS 300还提供了基板金属化的模块化工具。其金属化模块的精确提升机制允许将基板小规模定位在有纹理的表面上并保护床单。该模块还包括一个自动微掩模装载资产、化学蒸汽输送模型和基于红外的加热设备。该系统还可用于涂层和蚀刻工艺。金属氧化物蚀刻通过可调设置处理蚀刻曝光时间。同样，可以使用自动化的可编程选项来配置各种涂层工艺和预处理条件。ACS 300旨在促进重复性和过程控制。集成的微处理器控制提供对校准和验证模块的访问以及单元维护记录。同样,实时过程控制技术有助于保持一致的过程结果。KARL SUSS/MICROTEC ACS 300是一台先进的自动化光刻机。它提供可靠、小尺寸的图样传输和涂层/蚀刻功能。其集成的微处理器控制提供可靠的过程控制和监控能力，而其校准和验证模块则提供自动化的特性测量和跟踪。
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