二手 KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray #9186526 待售

KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray
ID: 9186526
晶圆大小: 6"
Spray coater, 6".
KARL SUSS/MICROTEC AltaSpray是一种光致抗蚀剂设备,设计用于在广泛的基板上精确形成层和表面。通过使用旋转搅拌系统,该单元可以喷涂在均匀的光刻胶层上,同时创造比传统喷雾技术更大的面积。MICROTEC AltaSpray机器具有内置的自调平工具,可确保涂层过程中的精确可重复性和准确性。该资产采用三维运动设计,可控制涂层光刻层的厚度,同时实现一致定位的中心。该技术有助于进一步保证每个工艺周期的质量和可重复性。控制工艺供应速率、喷嘴中心位置和旋转率可提高工艺控制和可重复性。KARL SUSS ALTA SPRAY能够处理各种粘度范围的光刻胶,包括自旋喷涂、热喷喷涂和块状涂层,使其成为用于制造、计量和研究的通用工具。该模型为大学或实验室用户提供了一个简单的交钥匙解决方桉。直观的触摸屏界面使操作员能够轻松设置设备,以并行或背靠背方式处理最多两个作业。此外,AltaSpray的专利炉技术通过其带状背空气过滤系统提供了卓越的性能和可靠性。进气口还可以使设备即使在繁重的工作负载下也保持冷却,使其适合长时间运行。ALTA喷雾机以其精密和技术,是光刻和蚀刻等工艺以及其他精密涂层应用的可靠解决方桉。
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