二手 KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray #9210358 待售

KARL SUSS / MICROTEC AltaSpray
ID: 9210358
晶圆大小: 8"
Spray coater, 8".
KARL SUSS/MICROTEC AltaSpray是一种先进的光敏设备,使用户能够在基板上沉积一层精确的薄薄光敏树脂。这确保了涂层的均匀性和使用光刻技术时的可靠结果。MICROTEC AltaSpray系统具有高性能喷枪,可在长达8 x 10英寸的区域内出色控制光刻涂层厚度。KARL SUSS ALTA SPRAY为各种光刻胶需求提供精确、可调的参数。这包括控制喷雾距离、喷雾速度、压力和雾化。此外,该单元还支持多种涂层模式,如全场管理、贴片模式或局部涂层。这些功能支持高级功能,例如控制异质基板表面的涂层厚度,在多喷嘴系统中独立控制每个喷嘴,以及实施上漆技术。KARL SUSS/MICROTEC ALTA SPRAY支持多种基材和光致抗蚀剂。适当的光刻胶可以根据所需的特性来选择,如正负光刻胶、分辨率和其他要求。量身定制的工艺能够在光刻工艺中获得所需的性能,是实现可重复结果的关键。此外,KARL SUSS AltaSpray还包括完成光刻工艺的后处理和清洁选项。机器支持喷雾循环和清洁循环操作作为单个程序的一部分完成安装。它还配备了超声波喷嘴以提高清洁能力。由于可以高效更换的自动监控部件和备件,该工具的长期维护也得到了改进。总之,ALTA SPRAY是一种先进的光致抗蚀剂资产,它使用户能够在各种基材上沉积精确一致的光致抗蚀剂层。它提供可调参数,支持多种涂层模式。此外,它还支持处理后周期和清洁选项,以提高生产吞吐量。这样,AltaSpray在利用光刻技术时有助于确保可靠的结果和提高产量。
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