二手 KARL SUSS / MICROTEC CL200 #293649726 待售

KARL SUSS/MICROTEC CL200是一种光刻设备，提供可靠和精确的微电子器件光刻。光致抗蚀剂是一种光敏材料，可用于在基板表面上创建形成图桉的遮罩。MICROTEC CL200是一个全场投影系统，采用对齐的投影光源，以及专门的光学单元，用于在光刻涂层表面上创建预定义图样的图像。该机器还包括一个先进的，用户友好的控制工具，以高效操作。KARL SUSS CL200具有200 mm的田间尺寸范围，可用于大型基板的生产。这项资产效率高,能够快速、准确地调整和暴露。此外，它还配备了12轴机器人模型和先进软件，使设备内不同元素的自动定位成为可能。该系统还提供了广泛的用户友好功能，包括对准程序、完全电动的晶片级和独立的基板处理，以及基于激光的位置检测单元，以确保准确性。此外，该机还具有微调曝光场尺寸的孔径溷合特性，可获得较高的均匀图样质量。该工具的其他功能包括用于自动定位检测的集成全球定位系统资产、校准单元和带有PID控制器的闭环温度控制。CL200非常适合需要高精度和精确控制的应用。它可用于部件的生产和制造，如微电子器件，其在基板上制造精细图样的能力使其成为研发用途的理想之选。KARL SUSS/MICROTEC CL200也非常适合小批量生产设备，是创建高质量光刻胶图桉的可靠、经济高效的工具。