二手 KARL SUSS / MICROTEC Ct/62 #293628597 待售

製造商
KARL SUSS / MICROTEC
模型
Ct/62
ID: 293628597
Controllers for RC 8 Spin coater.
KARL SUSS/MICROTEC Ct/62是由专业光刻和步进系统的领先制造商MICROTEC开发的光刻设备。该系统设计用于在各种电子基板上打印薄膜和图桉,具有高度的精确度和可重复性。该单元具有极高的精度,可用于各种光刻工艺,为电路设计和生产提供最大的灵活性。MICROTEC Ct/62机由步进器、光敏处理器、真空卡盘和高速控制器组成。步进器利用电动X-Y级精确放置基板并将其对准卡盘上的适当位置。其分辨率为0.25微米,高速精度高达10微米。光致抗蚀剂处理器用于施加和去除光致抗蚀剂材料,而真空卡盘在此过程中将基板固定到位。气体输送工具和软件控制的环境参数有助于确保所有光刻工艺以最高精度进行。资产还包括一个内置涂层站,用于应用光刻材料,以及一个专有的计算机控制模型,用于管理整个光刻过程中的所有功能。通过这种设备,用户可以创建广泛的特征和图桉,包括复杂的3D形状、细线和vias、亚微米光刻以及优化的对齐过程,以确保精确和可重复的图桉。该系统支持几种光刻材料,同时兼容标准光刻胶片和预封盖技术。此外,它还设计用于手动操作和自动化操作,从而实现卓越的控制和方便。该机组吞吐量高,能以最大吞吐量和速度快速加工多种基板,提供大批量生产能力。KARL SUSS CT 62光刻机是可靠、准确、高效生产电子器件的重要工具。它提供了卓越的精度、卓越的吞吐量和高可靠性,使其成为生产即使是最复杂的微电子元件的绝佳选择。
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