二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 12 #293759851 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 12是一种光刻胶设备，旨在为各种基材上价格合理、质量的光刻胶沉积提供创新的解决方桉。MICROTEC Delta 12采用革命性的光学曝光技术,提供具有分析功能的高分辨率、一致且可重复的阵列处理。提供6英寸至12英寸的晶圆直径，以及最多6个工艺室的容量，该系统是研发（R&D）和生产的绝佳选择。KARL SUSS Delta 12配备了先进的自动化过程控制功能,为开发人员提供了一个用户友好的界面来手动配置其光刻过程。为确保精确可靠的模式,该单元由高精度的直驱直线电动机提供动力。此外,它还配备了行业标准的PECVD模块和维护良好的尖端涂层轨道,使用户能够控制薄膜厚度并抵抗均匀性。Delta 12还具有最先进的工艺室，可与外界隔绝。该功能为用户提供了一个温度控制的环境，以进行精确的曝光并防止沉积温度波动。该机还利用先进的光负性和光正性技术，使用户能够进行高分辨率的微细加工。其他特点还包括可变深度的高分子蚀刻、内部结构的化学铣削工艺以及可变功率传感。利用其精确的定位功能,用户可以选择所需的字段大小并减少模式失真。KARL SUSS/MICROTEC Delta 12工具还具有快速曝光和梯度曝光过程等高级功能。即使在具有挑战性的几何形状中,此功能也允许在晶片上进行均匀的光刻胶图桉。此外,即使在具有挑战性的模式下,该资产也能提供非常高的流程准确性和可重复性。总体而言，MICROTEC Delta 12光刻胶模型是一种具有先进功能的可靠、高精度的光刻工艺。其用户友好的界面和广泛的数据收集能力使其成为研发和生产的绝佳选择。该设备为质量沉积、精确制图、可靠抗均匀性提供了完整的解决方桉。