二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T #9139667 待售

KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T
ID: 9139667
晶圆大小: 6"
Manual coat spinner, 6".
KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T是一种光刻设备,它提供了针对传统批处理和高级晶圆级封装应用进行优化的高分辨率掩蔽解决方桉。MICROTEC Delta 20T采用了多种先进的工艺技术,使用户能够在放置任何给定样品的特征时达到微米精度。该系统采用交流伺服步进电机,具有超声波叶片定位机构和光滑的皮带传输。这允许高度精确地暴露于光敏材料。该单元还提供了出色的材料涂层均匀性。晶片通过前面板用户界面快速轻松地加载和卸载。KARL SUSS Delta 20T的高分辨率影像投影机在整个晶圆表面提供卓越的均匀性覆盖。这可以通过其精确的镜头校准工具和高分辨率的光学成像投影技术来实现。Delta 20T还允许对各种光电图进行精确校正和优化,使用户能够准确处理具有挑战性的基板,如薄片和ITO基板。KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T还具有1微米±定位精度。这样可以确保掩蔽模式正确地位于晶片表面上而不会出现偏差。此外,资产还具有先进的溅射室.该腔室能够完成等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)工艺,这是产生高分辨率薄膜图样所必需的。MICROTEC Delta 20T是一种最先进的光刻胶模型,它为用户提供了一套最先进的工艺技术,以便在最短时间内生产出最先进的微结构。它旨在帮助用户优化生产产量并降低制造成本。
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