二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T2/150VPO #9124419 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T2/150VPO是一种先进的光刻/光刻设备，设计用于半导体基板的高分辨率、精确的阵列。该系统的设计具有先进的特点,如多层覆盖和对准精度高达0.3微米,以及高通量生产和延长半导体晶片的产品寿命,以实现经济高效的阵列设计。该单元具有集成的高稳定性晶片级，能够支撑5"至8"基板，最大速度为3厘米/秒。舞台安装在空气加固的导轨上，并由轻巧的行进组件支撑，以确保准确可靠的基板运动。多通道微处理器控制器独立监控级，以亚微米精度控制晶片位置。该机还配备了可变照明光学器件和MicroStepper电动投影工具，提供高分辨率图桉精确投影到基板上。资产可以配置为暴露正或负光刻胶，高保真光学器件可以产生高长宽比和分辨率到次四分之一微米范围的图样。此外,MICROTEC Delta 20T2/150VPO还具有数字编码的自动聚焦功能,即使基板较厚,也能确保分辨率最高的模式。自动对焦算法还提供了步长小于0.1微米的高度精确、可重复的对焦条件。这样可以减少曝光时间并节省电力,从而提高吞吐量。该模型提供各种光刻和清理工具，包括深紫外线和软紫外线光源，以及用于检测和报告缺陷的晶片边缘检查设备。此外，该系统还配备了负载锁，用于快速、畅通的基板装卸。KARL SUSS DELTA 20T2/ 150VPO是使用光刻和光刻技术在半导体基板上产生高质量、精密图样的先进装置。其令人印象深刻的一系列特性和功能,以及成本效益,使其成为半导体制造和研究的理想解决方桉。