二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 20T2/150VPO #9296246 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 20T2/150VPO是一种光阻设备，设计用于成像和成型先进半导体材料。MICROTEC Delta 20T2/150VPO是一个全面的概念光刻系统，为制造半导体器件提供可靠和经济高效的解决方桉。该单元由四个关键组件组成：光刻工具（Delta 20T）、抗蚀剂涂层、显影剂和曝光后烘烤（PEB）单元。Delta 20T光刻工具是为直接写入亚微米光刻成像而设计的一种阶梯式和重复机。它使用紫外线光源和高精度光学将图像投射到基板上。此外,Delta 20T还可以配置用于诸如晶圆划线、计量和其他专用应用程序。该工具具有300毫米工作台和150毫米垂直行程范围。随附的抗蚀剂涂层是一种自动涂层工具，设计用于在基板上精确应用抗蚀剂材料。它使用线性运动资产来统一、准确地将抗蚀剂施加到材料上。显影剂是一种基于旋转的机制，用于在曝光过程后去除抗蚀剂。它利用离心力搅拌抗蚀剂，使化学显影剂溶液更容易溶解暴露的抗蚀剂材料。最后，PEB烤箱是一种特殊的设备，用于在晶片暴露和开发后对其进行热处理。利用加热元件将晶片温度提高到最优范围进行抗蚀剂的开发。除了组件之外,KARL SUSS DELTA 20T2/ 150VPO还为用户提供了直观的图形用户界面（GUI）。此界面旨在帮助用户执行编程任务,为不同的流程设置模型,并生成用于分析设备性能的报告。DELTA 20T2/ 150VPO光刻胶系统为高精度晶片的成像和成型提供了一个全面的解决方桉。它具有高效的工作流程、卓越的图像质量和直观的GUI,是制造先进半导体元件的可靠选择。