二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 36T #107379 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T是一种光致抗蚀剂设备，用于在基板上产生高分辨率的亚微米结构。该系统具备多重曝光能力，允许在半导体微芯片上产生高度错综复杂的模式。MICROTEC Delta 36T有一个先进的光学单元，用于改善基板上的光均匀性，并能够使用各种光敏材料。KARL SUSS Delta 36T利用先进的投影光学机器提供卓越的光刻精度，允许精确和高产产量。该工具采用了数值光圈为0.75的Carl Zeiss f-Theta镜头，可提供低至0.2 µm的高分辨率。此外,Delta 36T还可在一个周期内支持最多四次曝光,从而实现高纵横比和卓越的焦点轮廓深度。KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T还具有强大而直观的软件包,可方便地对齐基板和基板上的图案。软件的"Step&Repeat"功能允许在多个基板上生成多个一致的图像，"Auto Align"功能进行细微调整以提高迭加精度。MICROTEC Delta 36T还能够生成二进制图像和灰度图像。在成像精度和均匀性方面，KARL SUSS Delta 36T表现出色。它配备了ImageMASSter智能测量软件,可帮助确保成像精度,并配备额外的高分辨率编码器,可提高驾驶精度。该资产还配备了用于精密配方管理的可编程控制过程参数，并具有易于使用的触摸屏界面，以获得更大的便利和效率。在安全性方面，Delta 36T配备了一大堆防尘盾和真空盾，保护光学器件免受灰尘或颗粒的侵袭，两者都会影响光刻输出。该模型还配备了先进的近端视觉设备，用于检测基板平面中物体的存在，确保高水平的操作员安全。总之，KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T光刻系统是一个设计精良、高效的单元，能够产生高分辨率的亚微米图样，光刻精度令人印象深刻。这台机器提供卓越的照明和强大而直观的软件套件，以确保可重复和高效的结果。此外,MICROTEC Delta 36T还提供重要的安全功能来保护光学设备和操作员。