二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 36T #9298295 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T是专门设计用于MEMS开发和生产的光阻设备。光致抗蚀剂系统被用于微加工中，以便在诸如硅或玻璃等基材上创建图样。这一过程包括将感光聚合物材料暴露在光下，以便在基板上形成图样。来自MICROTEC的MICROTEC DELTA 36T光刻胶系统由四个基本组成部分组成：一个曝光单元、一个超清洁光刻胶处理站、一个后处理机和一个容纳基材的平台。KARL SUSS Delta 36T曝光工具是一个封闭式平台，配备36个气溶胶JetHeads，用于精确控制紫外线曝光剂量。这种高度精确的自上而下的辐照使基板与JetHeads对齐，以实现均匀照明。每个JetHead都是可单独调节的，资产包括一个集成的自动清洗模型，用于清洗。设备的清洁度对于光敏材料的保存和所产生图样的质量至关重要。Delta 36T超清洁光刻胶装卸站是系统的重要组成部分，可确保在基板装卸过程中光刻胶材料不受污染。该站设计为尽量减少颗粒物和化学污染，保持机组清洁。后处理机在辐照完成后使用，包括热退火和湿法或干法。通过提供这种受控环境,KARL SUSS/MICROTEC Delta 36T确保创建的模式一致且可靠。MICROTEC Delta 36T光刻工具是一种多用途、可靠的工具，在多种类型的MEMS基板上已被证明具有可靠性和可重复性。此资产用途广泛、准确,是任何MEMS应用或研究的完美工具。它具有高分辨率成像和安全、清洁的环境,非常适合在微型化设备和组件上创建模式。