二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #293585694 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80是一种光刻设备，设计用于单三层光刻加工。它利用一个可编程、可靠和可靠的平台来支持极其精确和可重复的结果。它主要用于微电子和纳米电子工业。MICROTEC Delta 80有一个功能丰富的控制系统，安装在不锈钢真空室上。它允许用户精确控制光刻胶的曝光参数，如曝光角度、曝光时间和强度。它还支持不同基板和阶段之间的抗蚀层超高匹配。该单元提供了高质量的表面光洁度和特征均匀性，以确保与光刻胶处理兼容。真空室采用高压PPT涂层技术，改进了等离子体的清洁和附着力，消除了预涂层。KARL SUSS Delta 80采用模块化设计,允许灵活配置以满足个人需求。机器可以升级附加模块，如旋转涂层技术和硬烘烤模块，允许定制。该工具支持多种材料，从抗蚀剂到铜；从单层到多层蚀刻技术。晶圆厚度可达300微米，可重复精度为0.03微米；和可重复层厚度为0.001 nm,晶圆尺寸可达150 mm。它还可以在一次运行中支持多个过程步骤，如光学印刷、涂层开发过程和等离子体处理。Delta 80提供了前所未有的均匀性和易于使用、直截了当的控制。它还具有范围最广的应用配置文件之一，以最高的质量和准确性提供了光刻加工的最佳选择。它确保了可重复的过程控制和高质量的低成本过程的卓越精度。