二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #293651532 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80是一款高性能的光刻胶曝光设备，利用高强度紫外线曝光（UV）在多种材料上产生光纹抗蚀层。该系统非常适合在坚固的基材上生产高分辨率、高长宽比的微观特征，如硅、砷化氙和石英。MICROTEC Delta 80由精密的Z轴级、龙门、曝光组件和高强度氙气灯组成。该单元的设计可容纳从大孔径方法到传统的光学近距离曝光的各种曝光部分。它还提供了将各种各样的抗蚀剂处理模块集成到机器中的能力。KARL SUSS Delta 80工具还提供多种通用选项,如XY轴曝光、可编程曝光时间和精细的聚焦控制。这允许用户定义复杂的阵列几何,并以最小的特征失真执行高分辨率曝光。资产还包括先进的晶圆处理机制，以优化基板处理和曝光均匀性。该模型广泛的曝光控制也支持灵活的曝光后过程。它的曝光组件具有快速旋转的曝光头,可以从一个曝光计划快速转换为另一个曝光计划。此外,还可以将设备集成到高级晶圆跟踪器中,以实现自动对准和曝光,从而能够快速制作新设计的原型。Delta 80为了在暴露的图样和特徵上提供高度的精确度，还具有高精度的光学接近校正（OPC）和迭加优化能力。激光调制和数字信号处理器（DSPs）的应用相结合，使用户可以补偿基板地形和暴露图桉的变化几何形状。通过结合这些特性，KARL SUSS/MICROTEC Delta 80系统可以用于在各种材料上产生高分辨率的光刻胶图样，这些材料的精度很高，并且需要最小的特征失真。MICROTEC Delta 80具有快速曝光速度、适应性强的曝光组件和OPC功能,是原型设计和商业生产应用的理想设备。