二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80 #9271444 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80光刻设备是一种主要用于半导体器件制造的光刻机。它利用紫外线在晶圆表面产生图桉。MICROTEC Delta 80具有高度精确的光学系统,并对晶圆上的图像进行精确对准。计算机控制器Micro-Controlcenter允许在整个光刻过程中对暴露剂量、基板温度和冷却速率等参数进行高级控制。KARL SUSS Delta 80装有一个UV/visible光源，一个照明单元，以及一个携带多个口罩的口罩台。在真空密封的环境中,该掩模包含图样,保持在晶片上方。光源将遮罩图桉暴露在紫外线下，然后将其刻在晶片上。照明机产生所需的光强度和波长，以精确地在晶圆上印上图桉。Delta 80光刻工具效率高，曝光速度高达每小时30晶圆。此外,它还具有自动温度控制功能,可确保晶圆在整个过程中保持在一致的温度。KARL SUSS/MICROTEC Delta 80也能够在过程中对每个晶片的暴露剂量进行精确的监控和调整。这样可以确保所有晶片都得到相同程度的曝光。光刻资产还配备了先进的成像模型。该设备允许机器检测、识别和调整晶圆的底层表面的任何变化。成像系统还可以用来表征晶圆上的缺陷和缺陷，然后调整曝光过程，以尽量减少这些影响。MICROTEC Delta 80光抗蚀剂系统还配备了先进的抗蚀剂化学装置。这些化学方法可以根据应用程序定制,从而提高其性能、效率和准确性。此外，该装置还配备了一台集成的运输机和一台显微镜，可以在光刻过程中进行精确的观察和故障排除。总体而言，KARL SUSS Delta 80光刻刀具是用于半导体器件制造的可靠高效的机器。它具有高度精确的成像资产、先进的抗蚀剂化学和自动温度控制，以确保一致和精确的曝光。这些特性使其成为半导体器件制造的理想选择。