二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80RC T #293586445 待售
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ID: 293586445
优质的: 2008
Coater system, 8"
Substrates size: 4" x 4"
(3) Objectives
CCD
Spinner module
Stainless steel cabinet
Gyrset cover coating
Operator panel with display
Polypropylene bowl
Full sensor waste bottle
Acceleration: 1 up to 5 rpm/s
Spinning Time: 0.1 up to 999s
Power supply: 400 VAC, 50/60 Hz
2008 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC T是一种自动化的光阻设备,主要用于微米到宏观成像的应用。光致抗蚀剂系统主要用于微电子和半导体工业，目的是制造电路和芯片。MICROTEC Delta 80RC T是一个强大的系统，被世界各地的客户用作传统模拟面罩生产方法的可靠和方便的替代品。它能够产生具有灵活功能的高分辨率图像,使复杂的图样和设计能够在各种设备上轻松复制。KARL SUSS Delta 80RC T有一个由石英卤素光源、计算机操作成像单元和舞台控制单元组成的计算机控制平台。平台可配置为垂直或水平配置,具体取决于用户的首选项。Delta 80RC T还可以安装多种来自MICROTEC系列图像写字机镜头的成像光学器件。KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC T高度自动化和可编程,允许使用自定义成像编程。该工具可以控制样品的暴露，包括剂量和烘烤，除了温度、真空和加速度等其他参数。MICROTEC Delta 80RC T还具有多种安全特性，如紧急关闭、低级和高级警报，以及在发生热或其他不正常情况时自动关闭。KARL SUSS Delta 80RC T专为精确阵列应用而设计,它提供了一种高效的方法来实现可靠和可重复的结果。它的高分辨率和大视野允许将特征精确放置到1 µm的水平，而它的高对比度和均匀性提供准确的结果。Delta 80RC T是那些需要可靠、准确和高度自动化的光电阻的人的理想选择。它以其易用性、快速的工艺周期和坚固的工程设计而闻名,它的灵活性允许产生复杂的模式,并具有优异的效果。尽管KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC T的初始成本很高,但通过降低每个特征的成本和降低每个晶圆的工艺成本,可以长期节省成本。
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