二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80RC #293768237 待售

KARL SUSS/MICROTEC DELTA 80RC光致抗蚀剂设备允许将材料精确蚀刻和沉积到基板上。该单元由一个功能齐全的集成平台和一个全面的软件控制系统组成，使用户能够完全控制整个制造过程。该装置设有溅射室，用于将薄膜沉积到金属、硅和其他材料等基板上。溅射室还有一个气动快门，可以用来防止材料进入机器，使使用者在整个沉积过程中保持控制。MICROTEC Delta 80RC还有一个湿蚀刻室，是制造高纵横比和深蚀刻结构的理想工具。该室设有压力控制反应室，用户可以精确控制反应过程并确保最佳结果。80 RC的光刻臂用于将光敏材料沉积在基板上，然后使用375 nm UV激光器对材料进行紧密的线型定义。这样就可以创建高分辨率细线阵列,并具有更高的掩码对齐精度。KARL SUSS Delta 80RC有一个加热的陶瓷基板支架，可以用来保证整个过程中的温度均匀。它还有一个具有X-Y-Z运动的机械级，为用户提供精确精确的对准，用于曝光基板上的光刻胶层。Delta 80RC配有微处理器控制的操作触摸屏,便于整个工具使用。该80RC还包含一个高级数据采集软件包,用于记录制造过程中的结果和协议。总体而言，KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC光致抗蚀剂资产是一个先进的集成平台，用于将各种材料精确蚀刻、沉积和光刻到基板上。该模型的集成平台和控制系统允许用户完全控制过程并确保最佳结果。