二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80RC #293807051 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80RC是一种光刻设备,其设计目的是在微加工过程中提供准确可靠的结果。该系统能够执行半导体照片的沉积、蚀刻和图样化等操作。这台机器由一个自动化单元和一个计算机控制的晶圆单元以及一个晶圆盒式磁带组成。MICROTEC Delta 80RC可用于干性或湿性涂层应用。自动装置与激光曝光机集成在一起，激光曝光机的设计目的是对抗蚀剂涂层的光刻胶进行曝光。该机组还配备了电源和温度控制器，以确保准确的曝光结果。此外，该工具还具有自动停止装置，可防止过度曝光，并最大限度地减少对光刻胶微观元件的潜在损害。晶圆盒最多可容纳250个晶圆,易于互换.盒式磁带还设计用于保护晶片免受环境条件的影响，包括冲击和物理冲击。此外,KARL SUSS Delta 80RC支持高分辨率和多重曝光过程。分辨率可高达2微米，而多重曝光处理则允许整个表面的层传递，以及光刻胶作为复杂结构的绝缘材料。该资产还具有高可重复性和可靠性，可加工性高达250晶圆小时，缺陷率低。Delta 80RC是微加工等半导体工业应用的理想选择。它能够准确、精确地执行抗涂层、曝光和制图操作,使用户能够以最短的时间和精力获得高质量的效果。该模型的自动化能力以及提供可重复和可靠结果的能力使其成为微加工过程中的一个强大工具。