二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T #293633022 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T是一种光刻设备，主要设计用于微型制造过程。它是一个自动化的系统，可以用来为各种基板做图样，比如硅和金属表面。该单元由基板支架、光源和具有过程自动化功能的特殊软件包组成。基板支架的设计是热化基板，并使样品的快速变化，而无需人工干预。MICROTEC Delta 80T采用带石英窗的大功率Xe灯和经过优化的滤光机，为样品表面提供一致和均匀的辐照度。这确保了光致抗蚀剂在基板表面的均匀分布。KARL SUSS DELTA 80 T配备了流程自动化软件，可自动为特定应用选择最佳曝光时间。它有一个自动计时器，能够精确和可重复的暴露持续时间，以确保一致的结果。该工具还具有自动对焦控制功能，使用户能够沿着光轴选择不同的位置，以及可编程的抗反射涂层（ARC）资产，允许在不同的抗蚀剂配方之间快速切换。MICROTEC DELTA 80 T还附有计算机控制的微调器，允许从样品中自动应用和去除光刻胶。KARL SUSS/MICROTEC DELTA 80 T是适用于一系列工业和科学应用的可靠模型。它可用于薄膜晶体管（TFT）和其他集成电路的光刻制造。光敏设备具有很高的可重复性，并提供一致的结果，使其成为研究和原型制作的理想工具。此外,系统与一系列材料兼容,包括硅、石英和金属表面。最后，KARL SUSS Delta 80T在可见光谱和紫外线光谱中运行，允许增强分辨率和增加对比度。