二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T #293682013 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T是一种光刻设备，设计用于处理薄而细腻的基板，如薄氧化物、薄膜和薄膜。该系统由真空密封、低能光照机构、加热基板级和化学储层组成。裸露的基板材料可以迅速改变，并提供可调节的分辨率和遮罩尺寸。MICROTEC Delta 80T配备了具有曝光时间、强度和检测器读数的数字曝光参数显示器,并基于数字信号处理器（DSP）。此功能允许用户以高度的精确度优化其曝光参数，以及监控曝光过程。机器还有一个USB端口,用于将工具连接到个人计算机并传输曝光参数。KARL SUSS DELTA 80 T具有先进的曝光序列控制，允许在一个会话中运行多个曝光，从而可以快速优化曝光参数。该资产还具有可调节的基板温度，这在加工薄而细腻的材料时是必不可少的。最高温度为110°C （230°F），最低温度为-30 °C，这对于大多数光致抗蚀剂工艺都是足够的。KARL SUSS Delta 80T有一个强大的化学储层，旨在不断提供开发剂、溶剂和其他必需材料。此型号还具有可调节的蒙版尺寸,可实现广泛的应用。DELTA 80 T可以覆盖直径达8英寸（20.3厘米）的基板。MICROTEC DELTA 80 T用户友好，操作方便。它具有独特的拱形、真空紧光曝光机制，允许低能光的传递。此功能可提高处理精度,并降低每个曝光步骤所需的能量。Delta 80T是精细图桉和制作薄膜的绝佳选择，因为它能够加工细小至0.5微米的细腻基板。它也适合研发新的光刻胶工艺和材料。