二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #293590415 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T2是一种光刻设备,其设计可实现薄膜的精确平面化、蚀刻和成像。它是适用于生产高密度集成电路（IC）、复合半导体、MEMS、光学系统和微机电（MEMS）器件生产的高精度系统。该装置配备了最先进的监控机器，利用高分辨率摄像机、频闪灯和CCD探测器确保对蚀刻和成像过程的精确控制。它还具有高速加载工具，每个循环最多160个晶圆，一个12轴水平运动资产和一个多孔径光学模型。MICROTEC Delta 80T2采用具有温和热身周期和精确离合器接合的大功率氙灯，以及具有精确定时的先进配方控制器单元以及自动背景快门、原位膜测量、XY轴精细调整等先进功能，用于精确的CD-SEM背蚀控制。它具有广泛的自动过程控制能力，从自动曝光控制和CD到CD控制，到图像增强控制，一套现场CD-SEM监控工具，以及温度控制的样品处理设备。它还包含了一系列安全功能，包括但不限于湿式板凳安全开关，以及全面的蚀刻羽流控制系统。KARL SUSS Delta 80T2是一种多用途光阻装置，由于其精确的控制和高精度，能够实现高分辨率图像和高工程一致性。其优异的蚀刻性能将工艺开销成本和晶圆产量损失降至最低。凭借其内置的故障保护系统，可以产生广泛的纳米尺度特征尺寸和适合各种应用的沥青密度。