二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #9157254 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T2是一种多功能光刻设备,主要用于光刻材料的曝光。这个曝光系统由一个单元腔室、一个轨道和一个抵抗盒组成。机房配有光学装置和光源。轨迹负责遍历工具室，在整个光学窗口中移动图像。抗蚀剂盒含有基材，是暴露于光敏材料的材料。光源是资产中最重要的部分之一，允许对图样进行操纵。这一点很重要，因为图样是使用光致抗蚀剂材料创建的，需要精细处理。光源是可调的，可以用来调节发出的光的强度，这将导致不同类型的曝光，这取决于光敏材料的类型。该模型还利用涂层装置将光敏材料涂覆在基板上。涂层工艺对于在基板上创建所需的图样非常重要。有多种涂层材料可供选择，包括聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯炔、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙酯、聚乙烯乙酯和聚碳酸酯等。涂层材料的选择将决定暴露于光敏材料的类型。设备还配备了扫描仪和控制器。扫描仪负责扫描基板和捕捉图像以进一步操作，控制器控制系统参数，以确保成像过程的准确性和可重复性。最后，该单元还配备了曝光后烘烤单元。该单元负责在曝光过程后烘烤暴露的光刻胶材料。这对于确保光致抗蚀剂材料在基板上均匀暴露是必要的。烘烤过程改变了光致抗蚀剂材料的化学结合，使其得以发展，并在基材上提供图样。最后，MICROTEC Delta 80T2是一种通用的光刻机，用于使用光刻材料来处理图样。该工具有一系列光学设备、光源、扫描仪、控制器和涂层材料，为成像过程提供定制。此外，资产还有一个曝光后烘烤单元，以确保整个基板均匀曝光。因此,此模型非常适合为一系列应用程序创建高分辨率模式。