二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta 80T2 #9190377 待售

KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T2是为光学光刻应用而设计的光刻设备。它是一种基于激光干涉仪的高端光学光刻系统，能够产生0.8微米以下的特征尺寸。该单元旨在将高分辨率成像工具应用于从半导体、显示器、高级封装到微电子封装等多种应用。它包括一个成像头、一个自动化阶段以及一个用于控制和优化曝光过程的复杂软件包和硬件。成像头作为用户的主要界面，由连续波紫外线激光光学耦合到透射X/Y扫描级组成。基于激光干涉仪的机器能够将掩模或晶片精确地反复定位到几百毫米以上的2微米以内。该工具还可以动态调整舞台位置，以优化成像过程。自动化级是一个高度精确的机动化级,分辨率降至0.2微米。它具有原位加热和冷却的能力，提供了超过人类提供的精度水平。该级包括用于光学寻址X/Y扫描级的坚固灵活的驱动机构。MICROTEC Delta 80T2配备了先进的软件包，可以让用户控制曝光过程，优化图像质量。该软件包括传统和高级光刻应用的处方，并提供了广泛的曝光参数设置。此外,用户还可以访问大型的配方库和可定制的配方库,以用于专门的流程应用程序。KARL SUSS Delta 80T2能够根据特定应用处理不同的暴露水平和暴露时间。它提供了许多工具，用于在资产运行时测量、监视和测量流程参数。它还能够进行数据记录和报告,以便分析特定进程的结果。综上所述，Delta 80T2是为光学光刻应用而设计的高端型号。它提供了高达0.2微米的高精度，能够运行传统和先进的光刻应用。其可靠的驱动器系统和高级软件包确保用户能够充分利用其流程。