二手 KARL SUSS / MICROTEC Delta Plus 80T #293595179 待售
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KARL SUSS/MICROTEC Delta 80T是一种紧凑的半自动光刻设备,适合研究实验室的需要。该系统非常适合微光刻和相关工艺,使其成为设计微观和纳米结构的重要工具。MICROTEC Delta 80T配备了精密组件,包括先进的成像和照明光学器件,以提供最佳的性能结果。该装置设有一个光学闭合的显微光刻室,以实现最大程度的过程控制,以及一个高精度的计算机模块,以可靠地控制整个机器的所有过程。该工具还具有高精度级电机,可精确移动200毫米以下的基板,并支持各种基板,如硅、石英、铝和聚酰亚胺。此外,KARL SUSS DELTA 80 T结合了全方位的环境传感器,以消除人为引起的噪音。KARL SUSS/MICROTEC DELTA 80 T与它的先进软件配合使用,为设计微观和纳米结构提供了广泛的选择。它可以用于正负光刻胶的处理,其先进的成像和预定义软件使光刻参数从设计平滑地传递到结果。资产还配备了流程监控软件,使用户能够控制曝光、开发抗拒模式和优化处理结果。此外,MICROTEC DELTA 80 T具有强大的照明源,可选择可用于任何尺寸基板的准直、枪管、定制形状和反射器照明器。凭借强大的PC控制真空卡盘和基板夹紧模型,Delta 80T能够在其工作区域内保持任何基板尺寸,同时确保基板对齐一致。此外,该设备的软件可以使口罩相对于先前定义的模式快速准确地对齐。总体而言,DELTA 80 T是进行光刻实验和工艺精密抗蚀剂处理的理想系统。这个单元使用简单,为设计微观和纳米结构提供了广泛的选择,而且用途广泛,可以容纳各种各样的基板。KARL SUSS Delta 80T先进的精密元件、过程控制和监控软件以及通用照明源使其成为许多实验室的理想选择。
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