二手 KARL SUSS / MICROTEC Falcon VS11626 #9114639 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9114639
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Photolithography line system, 8"
(2) Cold plates
(5) Hot plates
(2) WAFERTEC Pumping systems
Robotic arm
Control box
1997 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Falcon VS11626是为生产和处理光刻应用而设计的光刻设备。该系统能够涂覆、成像和显影尺寸不超过16英寸的晶片。MICROTEC Falcon VS11626利用变速旋转,并包含完全可编程的对齐方式,以实现各种不同光刻应用的高质量和可重复结果。该装置采用真空密封室，可优化气压、温度和湿度，提供极为一致的处理环境。该机还提供了提高工艺产量和均匀性的扫视入射能力，以及有助于可重复使用的板上温度控制。为了在光刻过程中达到最佳精度，该工具还配备了湿式喷雾器，用于施用硬质或软质烘烤、显影剂或抗蚀剂等化学品。此外,KARL SUSS Falcon VS11626还配备了一个手动臂来定位晶片,可以在x、y和z方向进行校准。在成像方面,资产能够快速一致地创建高度详细的图像。它通过强大且可重复的机动化对准过程提供一致且可重复的成像,每小时可实现510个晶圆。这种机动化成像非常精确，因为它能够产生0.1µm的分辨率。猎鹰VS11626还具有内置的清洁模型。该设备采用临界气相沉积（CVD）技术，从晶圆的涂层表面去除颗粒。它还配备了一个清洁篮子，可以在系统内外清洗晶片。总体而言，KARL SUSS/MICROTEC Falcon VS11626是一个强大可靠的光阻装置，旨在产生高质量和可重复的结果。该机器具有强大的电动对准工具和精确的成像功能,能够涂覆、成像和开发尺寸不超过16英寸的晶片。此外，资产还具有内置清洗模型和用于定位晶片的手动臂。
还没有评论