二手 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #293652799 待售

KARL SUSS/MICROTEC Falcon是一款高性能的光阻（PR）设备，旨在为光掩模和半导体器件的生产提供先进的特性。该系统配备了一个大的真空浮动涂层头，能够在单个基板上涂覆多达三种不同的抗蚀剂，包括干膜光刻胶、旋转光刻胶和液体光刻抗蚀剂。地下加热装置提供均匀的温度控制和高度均匀的抗性涂层。高分辨率曝光是通过激光干涉仪与机器光轴对准来实现的。探测器平面可以调整到光轴的5微米以内。闭环曝光基板级控制可确保高度重复的光刻工艺。该工具还能够处理复杂的螺距和高长宽比，这对于先进的光刻是必不可少的。该资产通过同时对准光掩模和基板来提供最佳成像,从而允许以最小的位置位移将图样临界对准基板。这一特点确保了结构的精确打印到基板上的高精度。MICROTEC Falcon是一种高度通用的型号,具有方便用户的软件,便于安装设备。它允许单步光刻工艺，消除了在实际曝光前进行预先想象等多个步骤的需要。此功能可节省时间并提高生产吞吐量。该系统包含的最先进的软件包括多级预置、多步抗冲优化、高级掩码校正、自适应模式识别以及步骤和重复光刻设置等功能。该单元还能够处理高级打印要求。它包括光学灰度生成和可调节的薄膜反向偏置等特殊特征，用于二进制和相移掩模曝光。此功能为不同的应用提供了各种各样的处理组合。KARL SUSS Falcon是一款先进的光刻机床，为口罩和设备生产提供了广泛的功能。它为精确的图样印刷提供了精确和可重复的光刻工艺，并暴露了广泛的光掩模类型。该工具具有先进的软件和精确的控制，是先进基材加工的绝佳选择。