二手 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9211225 待售

KARL SUSS/MICROTEC Falcon是一款高性能、灵活的光刻设备，用于先进的直接成像和晶圆涂层解决方桉。它由一个用户友好、模块化和高度复杂的平台组成,具有先进的机器人技术,可实现精确的对齐、处理序列的完全自动化和高精度的结果。MICROTEC Falcon系统利用顶尖的光学器件、激光器和光光器件，产生几乎完美的低至25nm或以下的图样，并且能够批量处理直径从3到8英寸的基板。行业领先的光刻涂层晶片配方以严格的标准为基础，提供高吞吐量、可靠的生产，易于再现。该单元包括一台用于检测光束消隐的高分辨率600万像素相机和一台允许图像处理、晶圆对准和粒子分析的高分辨率视频显微镜。自动曝光托架使光致抗蚀剂能够准确、一致地曝光,典型的覆盖均匀度为0.1-0.2微米或更高。集成的Opticron对准级提供了一个七轴对准机，而一个样本计量工具使得一个令人难以置信的精确和可靠的过程窗口。一个Nion微波加速器位于上游，不需要高水平的工艺改进，允许更快的工艺时间和更高的分辨率。KARL SUSS Falcon资产还具有集成自动化功能,可用于3D特征检测、智能臂技术以及优化吞吐量的晶圆处理系统。最后,互锁确保腔室达到处理敏感材料（如洁净室环境）的标准,有助于提高制造过程的效率和控制。Falcon模型将先进的光刻技术推向了一个新的高度，拥有不锈钢平台和集成的机器人设备，使其非常适合行业标准的光刻应用。它能够加工尺寸达8英寸的基板，而且它是世界知名的精确度，使得它成为要求苛刻的光刻应用的绝佳选择。