二手 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9215560 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 9215560
晶圆大小: 8"
PI Coater, 8"
Operating system: Windows XP
I/O Robot movement: I/O Module
User interface:
Tri-color lamp tower
Audible alarm
Keyboard
Trackball
Wafer handling:
(4) Cassettes (Input port)
Handling robot
Pre-aligner
Coating module:
Arm movement
Chuck spin
Lift pin movement
Weight scale
Chemical dispense
Lift pin movement:
Temperature module
Cooling module
Utility:
N2: 3.5 bar
CDA: 4 bar
Vacuum
Power:
3 x 400 V
+6% - 10 %
+N + PE 50 Hz.
KARL SUSS/MICROTEC Falcon是一款先进的光阻设备,使用户能够在其原型上创建微米级结构。这种超精密的光刻技术能够产生尺寸降至0.4微米的高分辨率特征以及高达50微米的厚度。MICROTEC Falcon的高级系统包含了高分辨率相片打印单元、集电极、加热支撑台、舞台调平机和口罩对齐工具等诸多功能。随附的照片打印资产使用户能够获得精确、高分辨率的图像,尺寸可降至0.4微米。电源收集器是一种集成设备,可帮助确保整个过程中的曝光和开发水平保持一致。该模型还包括一个集成的加热支撑级,确保最佳的质量模式和最小化图像失真。此外,阶段调平设备允许用户在整个样品表面调整掩模元素的对齐方式。最后,掩码对齐系统有助于确保掩码元素在整个样品表面保持精确对齐。KARL SUSS Falcon除了具有光刻能力外,还能对基板上的图样进行蚀刻和金属化。这允许用户将他们的图样传输到各种表面,包括玻璃、磁带或钣金件,用于各种应用程序。蚀刻和金属化工艺经常与光刻结合使用,在基板上创建三维结构。Falcon是先进的光刻单元,非常适合精确创建微米级结构。它的特点包括高分辨率照片打印、电源收集器、加热支撑台、舞台平整机和口罩对齐工具,使用户能够以最小的失真实现最佳的质量模式。它的能力超越了光致抗蚀剂,能够将图样蚀刻和金属化到各种基板上,用于各种各样的应用。
还没有评论