二手 KARL SUSS / MICROTEC Falcon #9247695 待售

KARL SUSS/MICROTEC Falcon是一种设计用于制造微型和纳米机电系统（MEMS和NEMS）的光阻设备。该系统包括一个3轴级的内置真空单元和一个模块化的架子可安装的光学平台。它配备了高精度的微核维光学机器，提供高达100 nm的精度和可重复性，以及0.6um分辨率的数字Z轴扫描仪。它还配备了高速激光晶圆scriber，以提高精度、速度和生产率。MICROTEC Falcon拥有高速机动Z-Axis，可进行高达5nm/s的移动。它用户友好,具有触摸屏用户界面和多语言选项。易于使用的界面提供各种预定义设置的上下速度选择，并允许对复杂的3D模式进行编程。KARL SUSS Falcon设计用于处理厚度均匀、从厚到薄不等的多重抗性类型。内置的旋转卡盘工具通过自动顶部/底部涂层功能自动调整到适当的基板高度。两轴晶圆对齐资产的对齐方式可以调整到任何深度和宽度。该型号支持从10-7到102 torr的各种真空水平，允许高质量的加工和长期维护。自动真空产生保证了最佳真空压力，而内置脱气设备则通过防止短时间的变化来维持检流计的运行。该系统还配备了气体减震器，减少了外部源产生的振动，从而在光刻胶曝光过程中获得了更好的精度。猎鹰的设计考虑到了最高的安全标准，满足所有适用的CE要求。该装置的设计采用大多数标准安全协议,如锁定/标记、危险材料处理和EPA/OSHA要求。总体而言，KARL SUSS/MICROTEC Falcon是一款用途广泛、可靠的光刻机，旨在满足微型和纳米机电系统行业制造商的需求。