二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 60 #293828179 待售
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ID: 293828179
晶圆大小: 4"-6"
Automatic coater system, 4"-6"
Robot type: GENMARK 4S0401013
(2) IO Ports
(2) Hot plates
Cool plate
HMDS Module
(3) Bellow pumps
Spin coating station
Developer station.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma 60光抗蚀剂设备与任何标准半导体工艺线接口,能够生产具有微米级精度和分辨率的复杂微观结构。该系统采用紧凑、模块化的设计，融合了世界上最先进的电子束图样和抗加工技术。这样可以实现无与伦比的阵列质量和关键特征控制,实现最高的均匀性和最精确的迭加对齐。MICROTEC Gamma 60采用大面积阶段，提供大面积曝光场，非常适合大芯片生产。此外,集成设计允许设备完全远程运行,并确保最大程度的操作员安全。该机为芯片设计提供了出色的分辨率，具有高速光束遮挡功能，可缩短曝光时间。此外,它还提供了卓越的聚焦精度和现场深度校正,允许制造具有所需深度的多层。KARL SUSS Gamma 60利用高对比度程序员来确保最精确的特征分辨率和关键维度（CD）控制。它还具有广泛的工艺参数，如暴露剂量和焦距，可以远程调整，提供简单可靠的工艺优化。该工具具有直观的用户界面，便于引导电子束和控制过程参数以获得最佳效果。Gamma 60还有一个先进的光学资产，它提供晶圆的直接目视检测，用于实时缺陷检测。KARL SUSS/MICROTEC Gamma 60产生了令人难以置信的稳定和可重现的图像,非常适合重复的生产环境。此外,该模型还得到了全面的文档和技术支持,确保了最高的性能和可靠性。
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