二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 60 #9165079 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma 60光抗蚀剂设备是一种用于多种光刻工艺的掩模对齐器。MICROTEC Gamma 60以其可调、高精度的表处理不同的基板尺寸和厚度。该系统配备了先进的步进电机，用于精确定位基板。它具有5 μ m的可重复性和每秒120步的最高速度。工作区域是为大尺寸的基材（如晶圆和基材）的曝光而设计的，直径可达4英寸。KARL SUSS Gamma 60具有用于精确对准光掩模和基板的高级级单元。其出色的机械稳定性允许大量曝光时间，也保证了衍射光栅的高精度定位，从而保证了光刻质量。先进的光刻机具有微处理器控制的曝光能力。Gamma 60是一种多功能工具,它通过结合光刻、烘烤、洪水暴露和接触功能,提供卓越的效率。资产的曝光照明模式配备了光源的连续、异步和自动定位，以提供统一曝光。此外，KARL SUSS/MICROTEC Gamma 60还具有高精度图样发生器等先进功能，使用户能够数字化各种基板，包括不同类型的光掩模、衍射光栅、分辨率图和其他用于光刻的物体。MICROTEC Gamma 60是为光刻工艺设计的有效精密掩模对准器。其微处理器控制的曝光能力、可调级设备以及先进的模式发生器提供了卓越的精度和可靠性。KARL SUSS Gamma 60配备了高度可靠和精确的步进电动机和广泛的曝光光源，从而允许高精度的光刻工艺产生质量结果。