二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80 #9269957 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80是为微加工应用而设计的最先进的光刻设备。该系统采用紫外线敏感光刻胶与长波长光刻曝光源的组合，在光刻胶材料中产生高质量的图像。MICROTEC Gamma 80所使用的曝光源是在365nm范围内工作的10mJ长波长激光，几乎是传统基于ArF的系统波长的两倍。这样可实现较小的特征尺寸,最大线宽可能为10nm。同时，这也允许对光阻过程所需的曝光时间和能量进行更大的控制。KARL SUSS Gamma 80单元在光敏材料上成像时的最大分辨率为5.5 μ m，光学对准精度为5 μ m。这确保了可以在光刻胶中创建高分辨率的图样，从而可以在微量级和纳米级制造复杂的器件或组件。更具体地说,Gamma 80允许沉积和光刻厚度最大为20 SU-8 m的厚μ光刻胶和厚度最大为0.45 μ m的可铸造的Ultra-Thin （Ultra-Thin）光刻胶。该机还有一个集成的薄膜，有助于在暴露过程中保护底物。此外，KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80还提供多种清洁室解决方桉，如自动光刻胶纺纱和烘烤，导致光刻胶工艺简化和精确。这些解决方桉允许更大的过程一致性和统一性,从而产生高产结果。最后，MICROTEC Gamma 80提供了一个高级软件包来控制过程。该软件允许对刀具参数进行全面监控和调整，包括激光功率、曝光时间和其他高级参数。该软件还提供了一组用户友好的工具，可用于快速调整资产设置和查看图像，从而实现快速、轻松的操作。总而言之，KARL SUSS Gamma 80是一款先进而强大的光刻胶模型，提供高分辨率成像、自动化工艺和先进软件，帮助实现光刻胶材料中复杂图桉的生产。