二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma 80C #9210359 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80C光刻设备是一种专为微电子生产而设计的浸泡曝光工具。它具有广泛的曝光能力,适用于从4"到8"直径的各种光刻胶技术,以及从6毫升到250毫升的软性和硬质耐蚀剂配置,适用于各种供应商。MICROTEC Gamma 80C有一个400毫米宽的扫描床和一个带有可选冷却单元的自动化晶圆处理系统。其特点包括窄场曝光、现场缝合、多场曝光，以实现更快的吞吐量和更大的晶圆尺寸。此外，KARL SUSS Gamma 80C有一个有限的条码识别单元，使得曝光设置的程序化变化能够适应不同的光刻任务。Gamma 80C既配备了专用的激光自动对准器，也配备了能精确控制单个晶圆多个区域内剂量水平的曝光控制机。此外,该工具还具有一整套软件和控件,这些软件和控件是设置和自动化成功的曝光过程所必需的,包括参数配置、模拟和诊断。KARL SUSS/MICROTEC Gamma 80C利用固场光束均匀性校正工具提供可重复、一致的打印。与动态灰度校正算法结合使用时，通过微调曝光前参数和控制剂量均匀性，提高了曝光形状的准确性和可重复性。MICROTEC Gamma 80C还有一个内置的集成光束监控模块，提供关于曝光性能和过程稳定性的反馈。此反馈允许即时调整以优化结果,并提供实时过程控制的在线数据。最后，KARL SUSS Gamma 80C是光刻在安全印刷、精细工业纺织品、印刷电路板等精密光刻工作中应用的终极工具。它的准确性、可重复性和自动化选项使其成为任何光刻材料的理想选择。