二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293585692 待售

KARL SUSS / MICROTEC Gamma
製造商
KARL SUSS / MICROTEC
模型
Gamma
ID: 293585692
晶圆大小: 4"-6"
优质的: 2009
Developer systems, 4"-6" 2009 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一种光刻设备,它结合了高端性能和灵活性,能够为各种微加工应用制作复杂而细腻的图桉。该系统面向二维和三维结构的发展,表面粗糙度降至三纳米,这对于设备小型化至关重要。该单元具有极高精度的8轴运动级与可变角条耦合,允许处理多种材料。它还提供了全方位的背景照明设置,允许使用紫外线、电子束、i-line和kr+波长进行处理。该机的分辨率和准确度还可用于高清光刻应用,如光掩模制造、电路和部件维修、表面安装组件、MEMS和NEM设备生产、蚀刻和聚合物纳米加工。MICROTEC Gamma还提供了许多先进技术。其集成的3D扫描软件使X、Y和Z轴中复杂的三维图像能够对齐。它还提供了一个可配置的多层特征,允许将多个光刻步骤集成到单个工艺中。这样就不需要单独调整和定位。此外,KARL SUSS Gamma还具有集成的过程控制工具,它允许跨一系列参数对过程进行实时优化。这包括暴露剂量、暴露后过程和烤箱温度。该资产的硬件和软件也易于升级和定制,以适应不断变化的模式,允许制造具有卓越表面质量、线条边缘粗糙度和精细特征的结构。Gamma模型通过其用户友好的ID集成和易于使用的软件,为制造过程提供了许多优势,从提高生产率和提高产品质量到节省成本。凭借其最先进的设计和尖端技术,KARL SUSS/MICROTEC Gamma可以帮助满足最苛刻的微加工应用的需求。
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