二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293586448 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是用于精密光刻的最先进的光刻设备。MICROTEC Gamma是一种全自动系统，生产高质量、可重复的镜片和口罩，精确度高。它提供了广泛的功能,包括曝光、开发和冲洗操作。KARL SUSS Gamma利用XUV Hg-Cd-Ar灯形式的大功率光源，可以以单灯或双灯配置操作。XUV灯的波长范围从248 nm到488 nm，产生高曝光能量，用于精确可靠的曝光。伽玛还使用可编程变焦光学器件进行精确的图样曝光。KARL SUSS/MICROTEC Gamma的主动曝光区域为300 mm x 300 mm，最大放大倍数为5 x。这样可以确保准确的阵列放置和出色的可重复性。曝光过程由完全集成的实时软硬件单元控制。这包括可编程曝光阶段、高精度曝光控制器和高响应性曝光过滤系统。开发和冲洗作业由一个综合种植者单位处理。这个单元配备了自旋显影剂，可以针对各种工艺条件和材料编程到暴露的区域。冲洗装置也由计算机控制，提供对过程的精确控制，以获得一致的结果。MICROTEC Gamma可以连接到网络，使其与过程控制和质量保证软件兼容。这使用户能够实时监控和调整流程。此外，KARL SUSS Gamma被认证可以使用多种材料，包括聚合物、陶瓷和金属。总体而言，Gamma提供了一个先进的，可靠的光刻机，提供精确的结果具有高度的准确性和可重复性。它是许多光刻和微加工应用的理想选择。