二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293586449 待售
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ID: 293586449
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 2010
Developer system, 6"-8"
(2) Port cassettes
(3) Developer units
(5) Hot plates
(2) Cold plates
2010 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一种最先进的光刻设备，主要用于先进的光刻领域。光致抗蚀剂是一种对光敏感的材料，它允许微结构和其他微小电路元件的蚀刻和结构。MICROTEC Gamma在石英、SiC、金刚石等材料的掩模基板上进行图样化的最大分辨率为0.5 µm，与多种工业标准光刻胶兼容。KARL SUSS Gamma利用离轴投影对准器，它提供了比其他光刻工艺更高的精度和对准水平。因此，伽玛在更短的时间内产生了更精确的微观结构，从而提高了效率和可靠性。由于曝光时间短至0.06秒,并且图样具有多达六个对准标记,因此,这种光刻胶系统也比同类系统快得多。除了先进的投影对齐器外，KARL SUSS/MICROTEC Gamma还有一个自动的背面对齐选项合并，可以快速和容易地修正任何错位。此功能对于实现最高的准确性和可靠性至关重要。该单位还提供全自动的原地快速发展技术，使接触过程更快、更简单。MICROTEC Gamma的另一个优势在于它的用户友好特性。使用简单直观的软件，它的操作机器被设计为需要最少的用户输入，从而允许任何人使用工具，几乎没有技术知识。此外,还可以对资产进行编程,以适应具有更高级技能的用户,从而使他们能够根据自己的需求自定义模型。总体而言,KARL SUSS Gamma是一款先进、高效的光刻设备,具有广泛的自动、直观和可定制功能,使其成为光刻的理想选择。Gamma具有高精度、快速曝光以及自动对准和开发功能,因此可以指望它产生一致和可靠的结果,而用户只需提供最少的输入。
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