二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605208 待售

製造商
KARL SUSS / MICROTEC
模型
Gamma
ID: 293605208
优质的: 2015
Spin coater Back side cleaning (2) Spray coaters (2) HMDS Chambers (2) Cool plates No hotplate 2015 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一种光刻设备,一种计算机管理的设备,用于微加工和半导体制造。该装置适用于多种工艺,包括高端光刻和光刻,以及质量控制和晶圆验证。该系统采用高分辨率光学单元和各种工艺、真空、安全特性,提供优异的效果。它专为成本效益、可靠性和可重复性而设计,非常适合生产微观和纳米结构。MICROTEC Gamma机由两个单元组成:主处理器和帧单元。主处理器支持工具的编程、控制和操作。它包括一个触摸感应液晶显示屏和一个USB端口,还配备了一个由二十块可拆卸的基准板组成的穿梭阵列,用于微光刻工艺。框架单元具有高分辨率的光学资产,能够以高精度执行一系列光刻过程。这些包括光刻、掩模对准、计量和基于蚀刻的图样。光学元件的最大分辨率为0.23微米。此外,该单元还具有真空室、压力传感器和安全锁模型,可保护用户免受不必要的光线或振动影响。该设备还有一个软件库,提供用于运行和管理系统的命令,以及一个能够使用其他软件组件的插件结构。该设备有一个内置的掩码读取器模块,允许用户通过USB设备传输设计数据以进行进一步处理。KARL SUSS Gamma光刻机是一种可靠且经济高效的工具,具有极好的精度和可重复性。其先进的功能,如高分辨率光学器件、真空室、安全锁和内置软件库,为用户提供高效、成功的光刻和微加工所需的信息和控制。
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