二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605209 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一款光刻设备，设计用于支持先进的微加工、光刻和光学应用。它由各种组件组成，如紫外线辐射源、光学表和精确定位系统，它们提供了适合微观和纳米结构生产的环境。紫外线光源功率强度和波长微调，光谱范围从100 nm到500 nm。它提供了减少曝光时间和获得更高分辨率模式的350mW/cm2。该光源适用于电阻和非电阻光刻材料，允许广泛的应用可能性。光学台由表面较大的铝或钢结构组成，激光切割到低于1 µm的平坦度，允许在光刻操作中对光学元件进行极其精确的定位。它安装在一个可调的钢底座上，支撑能力高达200公斤，因此在暴露期间提供了更好的稳定性。精密定位单元由两个高精度微米头组成，每个微米头的运动范围为5mm。通过独立控制每个微米头的运动，可以实现各种定位高度精确的微结构和纳米结构。MICROTEC Gamma还包括各种附加配件，以方便生产过程。其中包括用于连接光掩模的底板和框架、用于对齐基板和掩模的舞台、真空卡盘以及用于搜索模式的可移动舞台。总体而言，KARL SUSS Gamma提供了一个非常适合生产精密到纳米级的微观和纳米结构的环境。其光学稳定的技术，快速的曝光时间，以及多种配件使得这台机器适合先进的光刻应用。