二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293605215 待售
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ID: 293605215
优质的: 2008
Spin coater
Spin coater module
Spray coater module
Developer module
Control panel
Load ports
SANKYO Robot
HMDs tool
Slot centering tool
Media cabinets
Pressure control
Media cabinets: Tank System
JULABO Temperature controller
Anlagen PC
Operating system: Windows 7
Temperature stack:
Hot plate
Cold plate
2008 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一款光刻设备，旨在为先进的微加工工艺提供最高精度和精确度。该系统是生产精细、高分辨率光敏结构的高精度可靠平台。MICROTEC Gamma配备了机械臂、高精度线性级、自动8 "x 12"晶片加载单元以及高放大倍率、全场图像捕获能力。该机设计为每小时最高处理350晶圆，同时保持高度的精确度和可重复性。光致抗蚀剂工艺利用紫外线辐射在晶片上达到所需的结构。缩放控制允许用户更改光学工具的放大倍数和曝光时间。接触资产由必要时自动控制接触剂量、剂量率和斑点大小驱动。KARL SUSS Gamma还设有一个集成烤箱，通过控制曝光温度来提高曝光分辨率。伽玛可以用于多种微加工过程，如光刻、蚀刻、溅射和平面化。应用于晶片表面的光刻胶层可以手动或使用自动清洗系统移除。另外，KARL SUSS/MICROTEC Gamma可以用于在应用新的光刻胶层之前去除光刻胶层。集成对齐模型可确保在应用多层光刻胶或执行曝光校正时的高精度和重复性。MICROTEC Gamma还配备了先进的软件套件，使用户可以分析曝光的数据并存储结果供将来参考。软件还可以检测曝光问题，并自动校正光刻过程中的各种问题。总之，KARLsussGamma是高精度微加工工艺的理想光刻设备。它提供了广泛的功能,使用户能够通过经济高效的设置获得优异的效果。自动晶片加载系统、集成烤箱、强大的软件套件和自动控制为先进的光刻应用创造了理想的组合。
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