二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293745275 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一种光致抗蚀剂设备，用于在各种表面上形成精细图桉。光刻胶系统由晶片级、遮罩架和照明单元三大部分组成。晶片级是保持要阵列的表面的部分。它由一个高度精确的步进电动机组成，用于在X、Y和Z方向上精确移动表面。掩模支架安装在晶片级上,并保持光掩模。光掩码用于将图样从掩码传输到表面。照明机由一个强大的紫外线源组成，典型的是水银弧灯，用来通过面罩照射光线，以暴露光刻胶。MICROTEC Gamma是一种高度精确的工具，能够始终如一地产生高分辨率的精细图桉。它以站立晶片模式运行，保持曝光源与曝光表面之间的恒定表面距离和曝光距离。晶片级的位置分辨率为1微米，可重复性为+/-0.005微米，可实现更高精度的模式定位。此外,掩模支架能够以0.1度的步长在0-20度之间成角,从而消除了由于角度差异造成的图样失真。KARL SUSS Gamma可以与多种光抗蚀剂结合使用，包括正负光抗蚀剂以及厚抗蚀剂。这种光致抗蚀剂资产采用两级曝光方法，这意味着曝光的图桉精确到更精细的细节，并且在没有针孔或阴影的区域内极为均匀。此外,由于其精确的X、Y、Z定位模型,此设备可用于以各种技术和各种特征尺寸（例如薄至50 nm的抗蚀线）对多层进行阵列化。伽玛是开发亚微米尺寸、单层和多层图样到各种基板上的理想光刻胶系统。其强大的设计、高精度和可重复性使其成为纳米电子领域复杂模式的研究、开发和生产的理想选择。