二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293778062 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一种用于制造微电子和光学元件的光阻设备。它设计用于同时处理多种光刻胶类型和过程，同时在蚀刻过程中提供高精度和重复性。"MICROTEC Gamma是一种多功能一体的DL-2Y光刻系统,它结合了极透明和耐化学的DL-2Y光刻胶,这两种材料通常用作光刻和干蚀刻的掩模。DL-2Y光致抗蚀剂是聚合物基的，因此可用于光学和X射线显微光刻。KARL SUSS Gamma单元提供了光刻涂层和开发的自动化解决方桉。这消除了手动应用程序的需要,并且对光刻胶层厚度提供了更高程度的控制。该机提供悬臂式自动晶片装载机，包括先进的硬件接口，允许灵活控制材料分布和光刻预烘烤参数。内置扫描头可提高对准精度,精度高达+0.1 um。此外,Gamma工具还具有高分辨率数字成像资产,可提高图像可视化的准确性。KARL SUSS/MICROTEC Gamma利用两级加热和冷却模型实现理想的光敏固化和开发。它还具有集成的提升销,用于在蚀刻过程中精确放置光刻胶掩模。双密度PTFE涂层输送机可以方便地从腔室装卸晶片。MICROTEC Gamma为直径、涂层厚度和薄膜材料提供了多种选择,使其可用于特殊任务的高度定制。最后，KARL SUSS Gamma设备采用先进的背光观察系统，便于检测和检查缺陷。它还采用直观的图形用户界面设计，极具用户友好性。使用Gamma光致抗蚀剂单元，操作员可以将光致抗蚀剂开裂、边缘滚落和临界尺寸损失降至最低，从而产生优质的微电子和光学元件。