二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293798807 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一种为微加工和纳米加工工艺而设计的光刻胶设备。该系统使用投影光刻技术将图样从掩模传输到基板。可用于在微米和纳米尺度上以尺寸精度开发光刻胶图桉。该机装有紫外线（UV）光源和照明用光学器件。这包括198 nm准分子激光器、157 nm氟激光器和一组可变数值孔径（NA）。它还可以使用g线（436 nm）、i线（365 nm）、深紫外线（248 nm）辐射或光波长组合来拓宽曝光光谱。这台机器具有先进的曝光和阵列设计能力,包括自动晶圆对齐器、对齐标记、精确移动工具、全场可编程强度调制、自动对焦和自动刷新功能以及重新定位阶段。它还允许曝光平移（移位）和高分辨率成像的图样光敏区域。MICROTEC Gamma是以标准台式格式构建的,它提供了带加热旋转盘的光刻材料的方便湿法处理。此外，资产可以很容易地整合到以真空为基础的清洁平面干燥处理环境中，以创建多层结构和纳米印刷品工艺。KARL SUSS Gamma为微观和纳米技术领域要求最苛刻的项目提供高精度图样的吞吐量和稳定性,从而开发出尺寸为几纳米到几微米的特征。这确保了制造的部件将是精确的，并具有适合各种技术的特性，如MEMS、传感器、光电和生物医学设备。此外，该车型在真空室内设有废物收集设备、网络连接和保护玻璃窗。最后，功能强大的用户友好软件Suss MICROTEC Premiere™允许用户快速轻松地创建掩码，导入数据，并自动记录每次曝光的详细信息。