二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293807081 待售
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KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一种先进的光阻处理设备,旨在促进晶圆和其他基板上的精确无缺陷沉积。该系统利用光学和光聚合技术的最新进展,在各种底物上实现精确的图样分辨率和均匀沉积。MICROTEC Gamma具有高分辨率的光学子系统,使用户能够准确、重复地实现具有卓越分辨率和精确模式的模式。利用二维微光器件,该装置可沉积具有亚微米分辨率和大面积沉积无与伦比的均匀性的光致抗蚀剂。通过将光学子系统与先进的晶圆传输机耦合,进一步提高了刀具在众多基板上传递精确均匀沉积的能力。该资产还配备了最先进的洁净室界面和环境控制模型,使用户能够实现最大的洁净室兼容性,同时最大限度地减少颗粒污染和照片损坏。KARL SUSS Gamma光刻设备除了具有高度先进的光学和洁净室兼容设计外,还具有先进的晶圆粘附技术。专有的粘合剂化学使系统实现了光刻胶的优越附着力、高均匀性和低温热稳定性。这使用户能够创建最高质量的图样,并最大限度地减少传统旋转涂层工艺可能遇到的光刻胶粘附失效风险。总体而言,Gamma光阻装置为高精度阵列应用提供了先进的技术。凭借其高分辨率的光学子系统、先进的晶圆传递机和专有的粘合化学,该工具为各种基材提供了最高水平的均匀性和无缺陷沉积。KARL SUSS/MICROTEC Gamma光刻胶资产利用光学、光聚合和洁净室兼容性方面的最新进展,为工程师和技术人员提供了一个强大而可靠的工具,用于精确且无缺陷的沉积和阵列。
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