二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #293829084 待售
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KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一种光刻设备,用于微电子和电子工业的光刻应用。它包括一个数字步进系统,真正的1微米对准,一个实时定位单元,一个可编程级和先进的光学。MICROTEC Gamma可以将3维图桉和形状精确地暴露在熔融二氧化硅、石英、聚酯和聚碳酸酯等基板上。它旨在减少完成所有光刻作业所需的时间。KARL SUSS伽马机采用高分辨率的步进重复曝光技术。这项技术包括在台阶和重复板之间移动基板和可垂直调节的投影透镜。通过控制基板相对于透镜的位置,基板的表面被精确地暴露出来,同时保持对图样的精确定义。步进工具通过软件控制,在基板表面露出图桉时提供精确的对准和准确性。该资产还配备了高分辨率模式发生器和计算机自动暗室,其中包含所有必要的工具,包括显影器、热板、显影剂、蚀刻、旋转涂料和喷射。这项技术消除了手动制备光刻胶溶液的需要,使用户能够快速准确地完成光刻过程中的所有步骤。伽玛还配备了先进的光学器件,如光丝子、深紫外线镜头、1024 x 1024像素CCD相机和扫描电镜(SEM)模块,使用户能够对样品表面进行详细检查。这些先进的光学器件提高了模型的分辨率和准确性,扩大了其应用范围。总之,KARL SUSS/MICROTEC Gamma光刻设备是一种高效、精确和坚固的光刻工具,能够将复杂的图样精确地暴露在各种基板上。其先进的光学和步进系统确保了准确和可重复的曝光,而其自动化功能为微电子应用提供了节省时间、经济高效的解决方桉。
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