二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9287389 待售

製造商
KARL SUSS / MICROTEC
模型
Gamma
ID: 9287389
System 2009 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Gamma是MICROTEC的最先进的光刻设备。光致抗蚀剂系统用于微电子和纳米电子器件的制造.MICROTEC Gamma系统是对Microtek UV1单元的升级,提供卓越的分辨率、重复性和可扩展性。KARL SUSS Gamma具有电动直线级和最新的深层紫外线投射光学。这种独特的光学和舞台组合允许分辨率高达1 µm的功能,可重复性高达± 1.7 µm。该机使用1x-6倍放大倍率,以确保可伸缩性,能够生产10 cm x 9 cm薄膜光刻的晶片。伽玛工具还与多种光敏材料兼容,包括聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、苯并环丁烯(BCB)、希普利1809和AZ技术。KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一种高精度、高成本效益的光刻胶资产。其设计允许对传统光刻可能无法实现的高长宽比特征进行成像。它还为需要快速原型设计或小批量生产运行的公司提供低成本解决方桉。该模型是一个独立的单元,不需要光刻清洁室。其直观的基于软件的用户界面和高级流程控制工具使操作变得简单和可重复。它还包括自动晶圆居中、失真补偿和预对准等高级功能。对于那些需要精确和可重复光刻技术的半导体和纳米技术行业,MICROTEC Gamma是一个极好的选择。其卓越的分辨率、可扩展性和节省的成本使其成为小型生产运行和原型设计的绝佳选择。凭借其直观的设计和先进的特点,该设备是满足各种光刻和微电子制造要求的便捷可靠的工具。
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