二手 KARL SUSS / MICROTEC Gamma #9299570 待售

KARL SUSS/MICROTEC Gamma是一种光阻设备，设计用于处理直径达250 mm的基板。该系统由一个光掩码对准器和一个轨道组成。该对准器设计用于高分辨率对准和曝光遮罩和基板的尺寸达250毫米。轨道包含液体处理器和烤箱，分别用于光刻涂层和烘烤。该装置有步进马达和照相机，可分别自动控制对准器的操作和对准精度。MICROTEC伽马机是干式光刻工艺，进一步分为两个阶段；掩蔽和成像，以及光敏涂层。遮罩和成像阶段涉及使用一个光源，该光源通过遮罩定向到基板上。这会导致图样化的裸露基板。光致抗蚀剂涂层阶段涉及使用液体处理程序用光致蚀剂涂覆基板。液体处理程序通过喷嘴将光致抗蚀剂分配到基板上。随后用烤箱热处理涂层底物，以活化光刻胶溶液。KARL SUSS Gamma工具还配备了真空卡盘，使面膜能够真空接触到基板表面。这样可以使遮罩精确对准基板表面，也能在遮罩和基板之间产生均匀的接触。此外，Gamma资产还提供步进电机控制和提高模型性能的电机查找表。步进电机可精确控制曝光区域,而电机查找台则有机会控制曝光区域的对准精度。KARL SUSS/MICROTEC Gamma设备还配备了一个图表记录器，用于快速准确地绘制整体光刻结果的图表。总体而言，MICROTEC Gamma是一种高效的光刻系统，旨在满足现代光刻工艺的需要。该装置采用了先进的特性，如步进电机、真空卡盘和电机查找台，使掩模能够可靠和精确地对准基板表面。这样可以确保遮罩和基板之间的均匀接触,从而获得精确的光刻结果。此外，这台机器提供了一个图表记录器，这使得它容易图表的光刻结果，允许一个快速和准确的过程文档。